Arduino M0 Proは、低消費電力の「Atmel SAM D21」マイクロコントローラと32bitのARM Cortex M0+コアを搭載し、Arduinoシリーズ中では高い性能と柔軟性を備える。Atmel Embedded Debugger（EDBG）によって追加ハードウェアなしでのフルでバッグインターフェースが提供されており、ソフトウェアのデバッグが格段に容易になったという。またEDBGはデバイスプログラミングや従来のArduinoブートローダー用の仮想COMポートにも対応している。Arduino R3 Layoutに対応した3.3Vシールドとの互換性も持つ。

クロック周波数は48MHz、動作電圧3.3V、フラッシュメモリ256KB、SRAM32KB、EEPROM最大16KB（エミュレーション）。入出力はデジタルI/Oが14ピン、12bitのADC入力チャンネルを6ピン、10bitのDAC出力を１ピン備える。価格は5234円（税別）。